精细仪器是指用以产生、丈量精细量的设备和安装，包括对精细量的察看、监视、测定、考证、记载、传输、变换、显现、剖析处置与控制。

关于用于丈量的精细仪器而言，可将其构造分为基准、感受转换、转换放大传输、瞄准/读数、数据处置、显现记载、驱动控制、机械构造等八大功用部件。

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依照丈量对象的不同，精细仪器能够划分为以下几类：

（1）几何量精细仪器

主要包括检测各种几何量的精细仪器，如立式测角仪、激光干预比长仪、经纬仪、三坐标丈量机、圆度仪、轮廓仪和扫描隧道显微镜等丈量仪器。

（2）热工量精细仪器

主要包括温度、湿度、压力、流量检测精细仪器，如各种气压计、真空计、多波长测温仪表、流量计和高度表等。

（3）机械量精细仪器

主要包括各种测力仪器、应变仪、加速度与速度丈量仪、转矩丈量仪、振动丈量仪、万能资料实验机和布氏硬度计等。

（4）时间频率精细仪器

主要包括各种计时仪器与仪表、原子钟、时间频率丈量仪等。